真空箱式氦检漏系统【机械系统部分】
机械系统主要由以下四个单元构成：真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。
1.3 检漏单元
真空箱式氦检漏系统机械系统部分的氦检漏单元，氦质谱检漏仪采用进口产品，氦检漏，自动校准漏孔。技术成熟，性能稳定，安装维护方便，使其和真空箱连接更加协调紧密。
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氦检漏设备（氦气回收设备）
充氦回收部分主要包括高、低压氦气罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀门、压力传感器和管道等组成。能在设定的时间内对工件进行抽空、充氦和氦回收等处理。
系统具有氦气压力监测及氦气自动补充功能，当系统检测到氦气的浓度或压力低于设定值时，氦检漏设备，则自动打开阀门补充高纯氦气。微漏检测合格后，自动进入。
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