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真空箱式氦检漏系统[机械系统部分]机械系统主要由以下四个单元构成:真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。1.1真空箱单元真空箱单元由真空箱、真空泵组、真空测量装置、真空阀、执行装置及不锈钢管道等组成。真空箱:采用不锈钢材质制...


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真空箱式氦检漏系统[机械系统部分]

机械系统主要由以下四个单元构成:真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。


1.1真空箱单元

真空箱单元由真空箱、真空泵组、真空测量装置、真空阀、执行装置及不锈钢管道等组成。

真空箱:采用不锈钢材质制造,其内表面在加工后经抛光和清洗处理,保证了良好的本底和极少的藏气,氦检漏,提高了真空箱的抽空效率。真空箱内设两个工件接头。真空箱采用快速接头与工件的接口间柔性软管连接,方便快捷,大大提高了操作效率。

真空箱开门机构:采用自动侧开门方式。

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北京科仪创新真空技术有限公司

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