”氦质谱检漏仪“在真空箱式氦检漏系统中的应用
漏率值的换算
高压开关柜在工作时控制泄漏的是SF6气体，因此需将原来要求的泄漏率指标换算成氦气漏率。以SF6 气体0.2%的年泄漏率，在实际检漏中，设定的漏率报警值通过以下步骤得出：
1. 将每年0.2％体积泄漏量的SF6的泄漏量转换成气体泄漏量：
以工件内容积300L，充SF6的压力为0.15Mpa(绝压) 计算，每年体积泄漏量0.2％对应的漏率值为：
300×10-3× 0.15×106 ×0.2％ /3600×24×365
＝2.8×10-6Pa.m3/S
2. 对于粘滞流，不同气体的漏率与气体的粘度系数成反比。所以，2.8×10-6Pa.m3/S的SF6对应的氦漏率
Q = QSF6 (ηSF6 /ηHe)
=2.8×10-6×（1.56×10-5/1.86×10-5）
=2.4×10-6Pa.m3/S
式中， Q－氦漏率（Pa.m3/S）
QSF6－试件工作时的SF6漏率（Pa.m3/S）
ηhe－氦气的粘度系数（1.86×10-5Pa. S）
ηSF6－SF6的粘度系数（1.56×10-5Pa.S）
充气开关柜检漏设备
由于工件内外压差不能大于0.04Mpa，抽空过程中系统可通过电气控制部分控制工件内外基本等压，氦检漏设备制造商，如果压力差超过设定值，氦检漏设备，则抽速较快的泵自动停止，等压力差达到规定要求时，氦检漏设备品牌，泵自动运行，直至真空箱和工件内的真空度均达到规定值。
系统自动记录、存储抽真空、充氦、氦检过程中的工件和真空箱的压力变化情况。
系统同时具有自我诊断与报警功能，显示各种故障信息。
电气系统同时具有自我效准、连锁保护和报警功能，以及急停按钮，氦检漏设备生产厂家，确保系统本身运行可靠安全和被检工件的安全。
为了保证工件的安全，系统中采用压力和真空传感器同时使用的方式，以防止传感器失效而对系统造成的伤害。