ZDZ-52型电阻真空计
ZDZ-52型电阻真空计，是用来测量低真空的仪器，仪器的传感器采样ZJ-52T型带温度补偿的规管，观测范围从1.0E-1至1.0E5Pa，该规管具有压力测量范围宽，抗污染等优点。本仪器在半导体制造、冶金、电子、制冷、化工、轻纺工业及其他需要测量低真空的场合都能广泛应用。
特点： 用途：
量程较宽，能够连续测量气体和蒸汽的全压力 真空粗抽系统的压力测量
响应速度快，能迅速反映气体压力 各种真空排气系统的压力监测
具备自诊断功能，操作界面友好 真空设备及工艺程序控制
用于实验室，复合真空计，生产车间中真空系统压力的测量
技术参数说明：压力观测范围 1.0E-1—1.0E5Pa 测量范围：4.0E-1---3.0E3Pa
测定点：电阻规1路
测定精度：±50%（4.0E-1---3.0E3Pa）
压力显示：指数位：1位 系数位：2位
设定点：二组或四组继电器输出接点。设定点的设定值具有掉电保护功能，电阻真空计，且可以随时修改。
输出信号：0—10V或4—20mA，分段线性化输出。（选用）
通讯接口：采用RS232或RS485通讯接口，并可进行远距离数据传输。（选用）
使用温度范围：5°C—35°C
电源 AC220V±10% 50Hz±1 Hz
F型机箱尺寸 96*96（mm）（装架式）
开孔尺寸：91*91（mm）（径深185mm）
重量 1.0KG
超高真空热阴极电离规
ZJ-12型超高真空电离规是目前在国内使用很广泛的一种电离规，真空计，该规管设计紧凑，功耗低，易除气，测量稳定可靠，量程宽；在使用寿命上来说，由于该规管使用的是双灯丝，这就在很大程度上增加了规管的使用寿命，当其中一根灯丝烧断，可以立即更换另一根灯丝，薄膜真空计，不会影响用户的正常使用。结构形式：采用DM-305，连接尺寸19±0.2MM或玻璃与金属封接；另一种为金属DN35CF法兰。 ZJ-12主要技术参数 *测量范围：1*10-1--5*10-8Pa *加速极对地电位：200V *阴极对地电位：50V * 收集极对地电位：0V *发射电流：4*10-4--4*10-3A *规管常数：7.5*10-2PA—1±20% *电子轰击去气：功率30W *烘烤温度：不超过400度 ZJ-12使用须知 *开封前检查规管真空度不低于5*10-2Pa *规管尽可能垂直安装 *规管如长时间不用，用真空储存 *规管除气真空度应高于5*10-3Pa *如要获得较好的极限真空，规管必须同系统同意烘烤。 M082、M082A技术参数 *测量范围1*10-1--4*10-2Pa *X射线极限：约4*10-4Pa *规管灵敏度：0.075Pa *阴极对地电压：180V *收集极对地电压：0V *发射电流：2MA *焦耳去气功率：75W *灯丝对地电压：30V
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