ZDZ-52型电阻真空计
ZDZ-52型电阻真空计，是用来测量低真空的仪器，仪器的传感器采样ZJ-52T型带温度补偿的规管，观测范围从1.0E-1至1.0E5Pa，该规管具有压力测量范围宽，抗污染等优点。本仪器在半导体制造、冶金、电子、制冷、化工、轻纺工业及其他需要测量低真空的场合都能广泛应用。
特点： 用途：
量程较宽，能够连续测量气体和蒸汽的全压力 真空粗抽系统的压力测量
响应速度快，能迅速反映气体压力 各种真空排气系统的压力监测
具备自诊断功能，复合真空计，操作界面友好 真空设备及工艺程序控制
用于实验室，生产车间中真空系统压力的测量
技术参数说明：压力观测范围 1.0E-1—1.0E5Pa 测量范围：4.0E-1---3.0E3Pa
测定点：电阻规1路
测定精度：±50%（4.0E-1---3.0E3Pa）
压力显示：指数位：1位 系数位：2位
设定点：二组或四组继电器输出接点。设定点的设定值具有掉电保护功能，真空计，且可以随时修改。
输出信号：0—10V或4—20mA，分段线性化输出。（选用）
通讯接口：采用RS232或RS485通讯接口，真空计价格，并可进行远距离数据传输。（选用）
使用温度范围：5°C—35°C
电源 AC220V±10% 50Hz±1 Hz
F型机箱尺寸 96*96（mm）（装架式）
开孔尺寸：91*91（mm）（径深185mm）
重量 1.0KG
冷规系列
M014系列是我公司主要的冷规品种，此系列规在我国使用比较广泛，在器件制造、真空镀膜以及真空冶金等领域做中高真空的测量。我公司所生产的M014系列规，接口比较齐全，供用户选择。 M014系列冷规的优缺点 *不怕突然暴露大气，因其放电会自动熄灭，规管不会遭任何损伤，使用寿命长 *反映的总压强 *受化学行活泼气体的影响小，不怕毒化或影响电子发射 *在低压强范围，灵敏度不然热阴极电离规高 *电清除作用严重，导致比较大的误差 *电极存在场致发射，限制了其测量下限。
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