SF6气体回收装置
回收装置的基本工作原理是采用冷冻液化法。在回收时，利用压缩机的抽吸性和压缩性把SF6电器设备内一定压力的SF6气体吸入压缩机，并压缩至某一较高的压力。同时利用R22制冷剂的低蒸发温度特性，氦检漏系统，将较高温度的SF6气体冷却至冷凝温度进行液化、贮存。这样连续抽吸至SF6压缩机串联运行，直至达到回收终压力。
在充放时，首先利用本装置的真空泵对SF6电器设备（或钢瓶）和连接管路进行抽真空，氦检漏方法，然后直接利用压差或利用压缩机的抽吸性并造成一定的压差将装置贮存容器内的SF6充入SF6电器设备，直至达到所需的工作压力。在需灌瓶时则同时利用如前所述的R22制冷剂的特性，将液化的SF6直接灌入钢瓶。
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【氦质谱检漏仪】在真空箱式氦检漏系统中的应用
漏率值的换算
高压开关柜在工作时控制泄漏的是SF6气体，因此需将原来要求的泄漏率指标换算成氦气漏率。以SF6 气体0.2%的年泄漏率，在实际检漏中，设定的漏率报警值通过以下步骤得出：
1. 将每年0.2％体积泄漏量的SF6的泄漏量转换成气体泄漏量：
以工件内容积300L，充SF6的压力为0.15Mpa(绝压) 计算，氦检漏装置，每年体积泄漏量0.2％对应的漏率值为：
300×10-3× 0.15×106 ×0.2％ /3600×24×365
＝2.8×10-6Pa.m3/S
2. 对于粘滞流，不同气体的漏率与气体的粘度系数成反比。所以，2.8×10-6Pa.m3/S的SF6对应的氦漏率
Q = QSF6 (ηSF6 /ηHe)
=2.8×10-6×（1.56×10-5/1.86×10-5）
=2.4×10-6Pa.m3/S
式中， Q－氦漏率（Pa.m3/S）
QSF6－试件工作时的SF6漏率（Pa.m3/S）
ηhe－氦气的粘度系数（1.86×10-5Pa. S）
ηSF6－SF6的粘度系数（1.56×10-5Pa.S）
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