【真空箱氦检漏设备】技术参数
10、真空箱检漏真空≤20 Pa
11、系统自身漏率：≤10-9 Pa m3/s
12、箱门开关方式：自动
真空箱体加送料车。料车尺寸高度需甲方确认。
13、真空箱及送料车承重＞1000Kg
14、设备校准：可自动操作外置漏孔校准
15、真空箱检测时系统可自动扣除氦本底，使显示漏率可以表示工件实际的整体漏率。
16、真空箱检测时充氮判大漏的同时，完成工件强度测试，氦检漏，（保压2分钟）。
17、充气回收压力、真空度必须准确、安全、可靠。
18、必须考虑充回系统中的过滤装置应方便清洗、更换。
19、对氦气浓度、压力进行监控，自动补充氦气。
20、具有自动清氦功能。
21、具有自动监控各部分的运行状态功能，异常诊断报警，真空箱氦检漏，并停止设备运行的功能。
22、工控管理系统，氦检漏仪原理，可完成下列参数的设置并实时打印。
23、有自动、手动两种操作模式。
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充气柜箱式氦检漏设备实现远程云服务控制系统
由于“控制机构”的输出为弱电(DC24V)信号带载能力比较弱，而“执行机构”为强电(多为AC200V、AC380V)。故不能直接带动“执行机构”。驱动机构的作用是把“控制机构”的输出信号放大转换，使其能带动“执行机构”。主要由电力调节系统等组成。
执行机构
完成某种功能的最终器件。主要有用于抽真空的各个真空泵、控制各个管路的阀门。
检测机构
检测机构由真空计、检漏仪、压力传感器、氦浓度仪组成。真空计用于测量工件压力、真空箱压力；检漏仪用于测量工件漏率；压力传感器用于测量高压罐压力、低压罐压力、氦气源压力；氦浓度仪用于测量高压罐内氦气的浓度。
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