真空箱式氦检漏系统【主要技术参数及要求】
1、 真空箱尺寸：长00mm×00mm×00mm（工件尺寸：）
最大充氦气压力：0.05Mpa（可调）
2、 工作节拍：＜35分钟/件（工件抽空口不小于φ16mm时）
3、 箱内接口数量：大件1个工件接口。小件2个工作接口。1单元可同时检4个。
4、 氦气回收率：95%-98%
5、 可检漏率：≤2.8×10-6Pa m3/S(可调）
(报警漏率设置1×10-7Pam3/S时，应可检出)
6、 压强检测时间：（可调）
7、 工件真空≤1000Pa（可调）
10、真空箱检漏真空≤10 Pa（可调）
11、系统自身漏率：≤10-13 Pa m3/s
12、箱门开关方式：自动
真空箱体加送料车。料车尺寸高度需甲方确认。
13、真空箱及送料车承重＞1000Kg
14、设备校准：自动/内置漏孔校准
15、真空箱检测时系统可自动扣除氦本底，氦检漏，使显示漏率可以表示工件实际的整体漏率。
16、真空箱检测时判大漏的同时，完成工件强度测试，（真空保压法测试）。
17、充气回收压力、真空度必须准确、安全、可靠。
18、必须考虑充回系统中的过滤装置应方便清洗、更换。
19、对氦气浓度、压力进行监控，手动补充氦气 。
24、设备具备云服务远程控制、监测、便于故障时及时处理。保障设备运行正常。
25、设备具有实时打印被检工件编号、日期、漏率、合格与不合格。
本设备适用对空腔电力工件进行氦质谱检漏、SF6及氮气充注，首先对工件进行真空内外压强抽空，真空法判大漏。大漏合格后，对工件和真空箱抽真空，被检工件充注氦气，应用真空箱法进行氦质谱气密性微检漏检测；然后将被检工件内的氦气回收循环使用、充注SF6及氮气工作气体。通过本装置判断出被检工件中的合格与不合格产品。
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充气开关柜检漏设备
由于工件内外压差不能大于0.04Mpa，氦检漏，抽空过程中系统可通过电气控制部分控制工件内外基本等压，如果压力差超过设定值，则抽速较快的泵自动停止，等压力差达到规定要求时，泵自动运行，直至真空箱和工件内的真空度均达到规定值。系统自动记录、存储抽真空、充氦、氦检过程中的工件和真空箱的压力变化情况。系统同时具有自我诊断与报警功能，氦检漏仪，显示各种故障信息。
电气系统同时具有自我效准、连锁保护和报警功能，氦检漏系统，以及急停按钮，确保系统本身运行可靠安全和被检工件的安全。为了保证工件的安全，系统中采用压力和真空传感器同时使用的方式，以防止传感器失效而对系统造成的伤害。
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