真空箱式氦检漏系统[机械系统部分]
机械系统主要由以下四个单元构成：真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。
1.1真空箱单元
真空箱单元由真空箱、真空泵组、真空测量装置、真空阀、执行装置及不锈钢管道等组成。
真空泵组：真空泵组是系统检漏需具备的必要条件，是真空获得的重要工具。本系统真空机组前级泵采用单级旋片式泵组，氦检漏试验，主抽罗茨泵采用罗茨泵，性能稳定可靠，氦检漏原理，在高真空下抽速更快，氦检漏仪原理，检漏系统配制采用机械泵为前级泵。
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真空箱式氦检漏系统【机械系统部分】
机械系统主要由以下四个单元构成：真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。
1.2 充氦气回收单元
充氦气回收部分主的组成结构中，高、低压罐由具有专业资质的压力容器生产商制造，并配备安全阀、压力传感器，适时检测高低压罐压力，氦检漏，安全可靠。系统具有氦气压力监测及氦气补充功能，当系统检测到高压氦气罐内的氦气浓度或压力低于设定值时，则自动打开阀门从低压罐补充高纯氦气。
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