真空箱式氦检漏系统[机械系统部分]
机械系统主要由以下四个单元构成：真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。
1.1真空箱单元
真空箱单元由真空箱、真空泵组、真空测量装置、真空阀、执行装置及不锈钢管道等组成。
真空箱：采用不锈钢材质制造，其内表面在加工后经抛光和清洗处理，氦检漏仪原理，保证了良好的本底和极少的藏气，提高了真空箱的抽空效率。真空箱内设两个工件接头。真空箱采用快速接头与工件的接口间柔性软管连接，方便快捷，氦检漏，大大提高了操作效率。
真空箱开门机构：采用自动侧开门方式。
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真空箱式氦检漏设备 充气柜氦检漏设备 环网柜检漏设备
本设备适用对充气环网柜（以下简称工件）进行真空法检漏。同步对工件和真空箱抽真空，使工件内外压差不大于0.04Mpa，对被检工件充注氦气，应用真空箱法进行氦质谱气密性检测，低温绝热压力容器真空氦检漏，通过该装置判断出被检工件中的合格与不合格。然后将被检工件内的氦气回收循环使用，最后向工件内充入规定压力的SF6工作气体。
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