真空箱式氦检漏系统【电气控制系统】
真空箱式氦检漏系统由机械系统和电气控制系统两大部分构成，其中电控系统包括操作机构、控制机构、驱动机构、执行机构、采集机构、及电源六大部分。
2.4、执行机构
电气控制系统中的执行机构是完成某种功能的最终器件，主要有用于抽真空的各个真空泵、控制各个管路的阀门。科仪创新 - 以技术为保障，方程氦检漏，公司汇聚了国内真空行业的资深专家、专业技术人员和专业的管理团队，氦检漏方法，他们熟悉真空、机械、高温、低温、镀膜、材料、检漏和自动化控制等专业，氦检漏原理，也深知现代化高新技术企业的内涵，为客户提供完善的技术保障。专业定制真空标准件KF/CF/ISO/全系列各种标准规格及非标系列。
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【氦质谱检漏仪】在真空箱式氦检漏系统中的应用
漏率值的换算
高压开关柜在工作时控制泄漏的是SF6气体，因此需将原来要求的泄漏率指标换算成氦气漏率。以SF6 气体0.2%的年泄漏率，氦检漏，在实际检漏中，设定的漏率报警值通过以下步骤得出：
1. 将每年0.2％体积泄漏量的SF6的泄漏量转换成气体泄漏量：
以工件内容积300L，充SF6的压力为0.15Mpa(绝压) 计算，每年体积泄漏量0.2％对应的漏率值为：
300×10-3× 0.15×106 ×0.2％ /3600×24×365
＝2.8×10-6Pa.m3/S
2. 对于粘滞流，不同气体的漏率与气体的粘度系数成反比。所以，2.8×10-6Pa.m3/S的SF6对应的氦漏率
Q = QSF6 (ηSF6 /ηHe)
=2.8×10-6×（1.56×10-5/1.86×10-5）
=2.4×10-6Pa.m3/S
式中， Q－氦漏率（Pa.m3/S）
QSF6－试件工作时的SF6漏率（Pa.m3/S）
ηhe－氦气的粘度系数（1.86×10-5Pa. S）
ηSF6－SF6的粘度系数（1.56×10-5Pa.S）
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