真空箱式氦检漏系统[机械系统部分]
机械系统主要由以下四个单元构成：真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。
1.1真空箱单元
真空箱单元由真空箱、真空泵组、真空测量装置、真空阀、执行装置及不锈钢管道等组成。
真空测量装置：采用进口真空计，使测量更加准确。
管道阀门：真空管道均采用不锈钢材料制成，氦检漏系统，为获得较好的真空提供了必要的物质基础。执行机构：真空箱开关门采用直线导轨滑动系统，手动送工件和自动或（手动）开关门可靠、安全。
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充气柜检漏设备系统工作原理详解
抽真空检大漏
检漏时先将工件放在工件转运平台上，人工将工件推入真空箱，然后将工件与系统连接，按下双启动按钮，箱门自动关闭，剩下的工作系统自动完成。
箱门关好后，系统打开V3 和V4，关闭V1，V5，V6， V7，对真空箱和工件抽真空，氦检漏，并同时监测工件内真空值和真空箱的真空值，并保证工件内压力比真空箱压力不超过0.04Mpa。当真空箱内压力为20Pa，工件内压力抽到1000Pa时保压150S，测量开关柜和真空箱内真空值的变化，如果真空箱内真空度变化不超过设定值（如100 Pa）说明工件无大漏，真空氦检漏，否则说明工件有大漏，系统自动给出声光报警，人工按下确认按钮，系统结束检测，如果工件无大漏，继续抽真空检中、微漏
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