SF6气体回收装置
回收装置的基本工作原理是采用冷冻液化法。在回收时，利用压缩机的抽吸性和压缩性把SF6电器设备内一定压力的SF6气体吸入压缩机，科仪氦检漏，并压缩至某一较高的压力。同时利用R22制冷剂的低蒸发温度特性，检漏，将较高温度的SF6气体冷却至冷凝温度进行液化、贮存。这样连续抽吸至SF6压缩机串联运行，直至达到回收终压力。
在充放时，首先利用本装置的真空泵对SF6电器设备（或钢瓶）和连接管路进行抽真空，然后直接利用压差或利用压缩机的抽吸性并造成一定的压差将装置贮存容器内的SF6充入SF6电器设备，充气检漏，直至达到所需的工作压力。在需灌瓶时则同时利用如前所述的R22制冷剂的特性，将液化的SF6直接灌入钢瓶。
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真空箱式氦检漏系统【电气控制系统】
真空箱式氦检漏系统由机械系统和电气控制系统两大部分构成，其中电控系统包括操作机构、控制机构、驱动机构、执行机构、采集机构、及电源六大部分。
2.2、控制机构
控制机构主要采用电脑触摸屏的集散式半导体模块控制系统，分散与集中控制相结合，层次分明、成本低廉、维护方便。控制系统同时具有自我诊断与报警功能，显示各种故障信息。控制系统同时具有自我校准、连锁保护和报警功能，氦检漏系统，确保系统本身运行安全可靠和被检工件的安全。
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