真空箱式氦检漏系统【系统工作原理及流程】
系统工作原理及流程:
系统工作原理、检漏、氦气回收、系统工作流程图
(系统工作流程)
真空箱式氦检漏系统工作流程:首先将待检工件放入检漏系统的真空箱,环网柜,然后关上箱门,接下来进行抽真空程序,抽到要求标准后,对工件进行检测,检测出合格和非合格的产品后,分情况进行处理,最后进行氦气的回收,氦检漏,开箱门取工件。
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真空箱式氦检漏系统工作流程图如下图所示:
【氦质谱检漏仪】在真空箱式氦检漏系统中的应用
漏率值的换算
高压开关柜在工作时控制泄漏的是SF6气体,真空箱式氦检漏系统,因此需将原来要求的泄漏率指标换算成氦气漏率。以SF6 气体0.2%的年泄漏率,在实际检漏中,设定的漏率报警值通过以下步骤得出:
1. 将每年0.2%体积泄漏量的SF6的泄漏量转换成气体泄漏量:
以工件内容积300L,充SF6的压力为0.15Mpa(绝压) 计算,充气柜,每年体积泄漏量0.2%对应的漏率值为:
300×10-3× 0.15×106 ×0.2% /3600×24×365
=2.8×10-6Pa.m3/S
2. 对于粘滞流,不同气体的漏率与气体的粘度系数成反比。所以,2.8×10-6Pa.m3/S的SF6对应的氦漏率
Q = QSF6 (ηSF6 /ηHe)
=2.8×10-6×(1.56×10-5/1.86×10-5)
=2.4×10-6Pa.m3/S
式中, Q-氦漏率(Pa.m3/S)
QSF6-试件工作时的SF6漏率(Pa.m3/S)
ηhe-氦气的粘度系数(1.86×10-5Pa. S)
ηSF6-SF6的粘度系数(1.56×10-5Pa.S)
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