真空箱式氦检漏系统【电气控制系统】
真空箱式氦检漏系统由机械系统和电气控制系统两大部分构成，其中电控系统如下图一所示，包括操作机构、控制机构、驱动机构、执行机构、采集机构、及电源六大部分。
2.1操作机构
操作机构主要由操作面板和工控机组成，用于人员的操作和修改参数。具体包括系统电源开关、系统运行状态监视、故障报警与故障分析等。系统监控画面如下图二所示，参数修改画面如下图三所示。
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图一 电控系统图
图二
图三
真空箱式氦检漏系统【系统工作原理及流程】
系统工作原理及流程:
系统工作原理、检漏、氦气回收、系统工作流程图
（氦气回收）
微漏检测合格后，检漏，自动进入回收程序。充氦回收系统工作流程见图七。充氦过程为：对被检工件抽空后，开V1，对工件充氦气到规定压力后关V1。检完漏后，V2开，工件内氦气自动流入回收罐。然后V2关，V3开，机械泵抽出工件内剩余氦气并送入回收罐。同时主压缩机将回收罐内的氦气压缩至储气罐。因为不可能完全回收（回收率高于95%），检漏系统，所以当储气罐内压力或浓度低于规定值时，气体检漏仪，需开V6，补充氦气，以保持储气罐内的氦气有足够的压力和浓度。
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