真空箱式氦检漏系统【机械系统部分】
机械系统主要由以下四个单元构成：真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。
1.2 充氦气回收单元
充氦气回收部分主要包括储气(高压)罐、回收(低压)罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀、压力传感器、真空计和管道等组成。
压缩机采用知名品牌，检漏，质量安全可靠。
氦浓度仪采用知名品牌，真空箱式氦检漏，能根据需要检测高压罐内氦气浓度。真空计，真空阀门等关键部件均采用高端配置，详见配置清单。
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真空箱式氦检漏系统【系统工作原理】
真空箱检漏工艺流程如下：①工件密封盖板安装（需方人员自行完成）→②吊运至设备小车（同上）→③工件与设备连接（同上）→④按下控制按钮（同上）→⑤设备关门自动运行（真空箱、工件抽空）→b.工件真空压强法判大漏→c.抽空工件充氦气检微漏→d.回收工件内氦气→e.真空箱、工件充气）→⑥检漏完成真空箱开门→⑦吊走工件拆卸盖板
注：①-④-⑦由需方人员自行完成。
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系统工作气路示意图如下图所示：
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