【真空箱氦检漏设备】技术参数
10、真空箱检漏真空≤20 Pa
11、系统自身漏率：≤10-9 Pa m3/s
12、箱门开关方式：自动
真空箱体加送料车。料车尺寸高度需甲方确认。
13、真空箱及送料车承重＞1000Kg
14、设备校准：可自动操作外置漏孔校准
15、真空箱检测时系统可自动扣除氦本底，使显示漏率可以表示工件实际的整体漏率。
16、真空箱检测时充氮判大漏的同时，检漏，完成工件强度测试，圆形检漏设备，（保压2分钟）。
17、充气回收压力、真空度必须准确、安全、可靠。
18、必须考虑充回系统中的过滤装置应方便清洗、更换。
19、对氦气浓度、压力进行监控，自动补充氦气。
20、具有自动清氦功能。
21、具有自动监控各部分的运行状态功能，异常诊断报警，并停止设备运行的功能。
22、工控管理系统，可完成下列参数的设置并实时打印。
23、有自动、手动两种操作模式。
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真空箱式氦检漏系统【电气控制系统】
真空箱式氦检漏系统由机械系统和电气控制系统两大部分构成，方形检漏，其中电控系统如下图一所示，包括操作机构、控制机构、驱动机构、执行机构、采集机构、及电源六大部分。
2.1操作机构
操作机构主要由操作面板和工控机组成，用于人员的操作和修改参数。具体包括系统电源开关、系统运行状态监视、故障报警与故障分析等。系统监控画面如下图二所示，参数修改画面如下图三所示。
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图一 电控系统图
图二
图三
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