真空箱式氦检漏系统【系统工作原理及流程】
系统工作原理及流程:
系统工作原理、检漏、氦气回收、系统工作流程图
（氦气回收）
微漏检测合格后，自动进入回收程序。充氦回收系统工作流程见图七。充氦过程为：对被检工件抽空后，开V1，氦检漏仪，对工件充氦气到规定压力后关V1。检完漏后，V2开，工件内氦气自动流入回收罐。然后V2关，V3开，机械泵抽出工件内剩余氦气并送入回收罐。同时主压缩机将回收罐内的氦气压缩至储气罐。因为不可能完全回收（回收率高于95%），氦检漏，所以当储气罐内压力或浓度低于规定值时，检漏，需开V6，方程氦检漏，补充氦气，以保持储气罐内的氦气有足够的压力和浓度。
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真空箱式氦检漏系统【系统工作原理】
真空箱检漏工艺流程如下：①工件密封盖板安装（需方人员自行完成）→②吊运至设备小车（同上）→③工件与设备连接（同上）→④按下控制按钮（同上）→⑤设备关门自动运行（真空箱、工件抽空）→b.工件真空压强法判大漏→c.抽空工件充氦气检微漏→d.回收工件内氦气→e.真空箱、工件充气）→⑥检漏完成真空箱开门→⑦吊走工件拆卸盖板
注：①-④-⑦由需方人员自行完成。
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系统工作气路示意图如下图所示：
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