真空箱式氦检漏设备
本设备严格按照“用户技术要求”设计制造。
本设备适用对空腔电力工件进行氦质谱检漏、SF6及氮气充注，首先对工件进行真空内外压强抽空，真空法判大漏。大漏合格后，对工件和真空箱抽真空，被检工件充注氦气，氦检漏，应用真空箱法进行氦质谱气密性微检漏检测；然后将被检工件内的氦气回收循环使用、充注SF6及氮气工作气体。通过本装置判断出被检工件中的合格与不合格产品。
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真空箱式氦检漏系统【机械系统部分】
机械系统主要由以下四个单元构成：真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。
1.2 充氦气回收单元
充氦气回收部分主的组成结构中，高、低压罐由具有专业资质的压力容器生产商制造，并配备安全阀、压力传感器，氦检漏装置，适时检测高低压罐压力，氦检漏工作原理，安全可靠。系统具有氦气压力监测及氦气补充功能，当系统检测到高压氦气罐内的氦气浓度或压力低于设定值时，则自动打开阀门从低压罐补充高纯氦气。
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