真空箱式氦检漏系统【电气控制系统】
真空箱式氦检漏系统由机械系统和电气控制系统两大部分构成，氦检漏，其中电控系统包括操作机构、控制机构、驱动机构、执行机构、采集机构、及电源六大部分。
2.6、电源
电控系统中的电源部分用来为各机构分配电能，有动力电源AC380V、控制电源AC220V、PLC电源DC24、I/O电源DC24V，预计系统总功率22千瓦左右。
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真空箱式氦检漏系统【电气控制系统】
真空箱式氦检漏系统由机械系统和电气控制系统两大部分构成，氦检漏，其中电控系统包括操作机构、控制机构、驱动机构、执行机构、采集机构、及电源六大部分。
2.5、检测机构
检测机构由真空计、检漏仪、压力传感器、氦浓度仪组成。真空计用于测量工件压力、真空箱压力；检漏仪用于测量工件漏率；压力传感器用于测量高压罐压力、低压罐压力、氦气源压力；氦浓度仪用于测量高压罐内氦气的浓度。
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