真空箱式氦检漏系统【系统工作原理及流程】
系统工作原理及流程:
系统工作原理、检漏、氦气回收、系统工作流程图
（氦气回收）
微漏检测合格后，自动进入回收程序。充氦回收系统工作流程见图七。充氦过程为：对被检工件抽空后，氦检漏，开V1，对工件充氦气到规定压力后关V1。检完漏后，V2开，工件内氦气自动流入回收罐。然后V2关，V3开，氦气回收，机械泵抽出工件内剩余氦气并送入回收罐。同时主压缩机将回收罐内的氦气压缩至储气罐。因为不可能完全回收（回收率高于95%），所以当储气罐内压力或浓度低于规定值时，需开V6，补充氦气，以保持储气罐内的氦气有足够的压力和浓度。
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由于“控制机构”的输出为弱电(DC24V)信号带载能力比较弱，科仪创新氦检漏，而“执行机构”为强电(多为AC200V、AC380V)。故不能直接带动“执行机构”。驱动机构的作用是把“控制机构”的输出信号放大转换，检漏方法，使其能带动“执行机构”。主要由电力调节系统等组成。
执行机构
完成某种功能的最终器件。主要有用于抽真空的各个真空泵、控制各个管路的阀门。
检测机构
检测机构由真空计、检漏仪、压力传感器、氦浓度仪组成。真空计用于测量工件压力、真空箱压力；检漏仪用于测量工件漏率；压力传感器用于测量高压罐压力、低压罐压力、氦气源压力；氦浓度仪用于测量高压罐内氦气的浓度。
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