真空箱式氦检漏系统[机械系统部分]
机械系统主要由以下四个单元构成：真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。
1.1真空箱单元
真空箱单元由真空箱、真空泵组、真空测量装置、真空阀、执行装置及不锈钢管道等组成。
真空箱：采用不锈钢材质制造，其内表面在加工后经抛光和清洗处理，检漏设备，保证了良好的本底和极少的藏气，提高了真空箱的抽空效率。真空箱内设两个工件接头。真空箱采用快速接头与工件的接口间柔性软管连接，检漏设备维修，方便快捷，大大提高了操作效率。
真空箱开门机构：采用自动侧开门方式。
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真空箱式氦检漏系统【科仪创新】
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和维修服务；
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