真空箱式氦检漏系统【电气控制系统】
真空箱式氦检漏系统由机械系统和电气控制系统两大部分构成，检漏，其中电控系统包括操作机构、控制机构、驱动机构、执行机构、采集机构、及电源六大部分。
2.2、控制机构
控制机构主要采用电脑触摸屏的集散式半导体模块控制系统，分散与集中控制相结合，环网柜检漏，层次分明、成本低廉、维护方便。上位机采用工控机，用于向PID发布指令、系统运行状态集中管理。PID主要实现对整个系统现场及部件进行连锁控制。系统根据“操作机构”和“检测机构”的信号来控制设备的运行，完成检漏工作。
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真空箱式氦检漏系统【系统工作原理及流程】
系统工作原理及流程:
系统工作原理、检漏、氦气回收、系统工作流程图
（氦气回收）
微漏检测合格后，自动进入回收程序。充氦回收系统工作流程见图七。充氦过程为：对被检工件抽空后，开V1，充气柜检漏，对工件充氦气到规定压力后关V1。检完漏后，V2开，工件内氦气自动流入回收罐。然后V2关，V3开，机械泵抽出工件内剩余氦气并送入回收罐。同时主压缩机将回收罐内的氦气压缩至储气罐。因为不可能完全回收（回收率高于95%），真空氦检漏，所以当储气罐内压力或浓度低于规定值时，需开V6，补充氦气，以保持储气罐内的氦气有足够的压力和浓度。
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