真空箱式氦检漏设备 充气柜氦检漏设备 环网柜检漏设备
主要技术参数及要求
1、 真空箱尺寸:长00mm×宽00mm×高00 mm
充氦气压力:0.05Mpa(可调)
2、 工作节拍:<40分钟/件
3、 箱内接口数量:大件1个工件接口。小件2个工作接口。
4、 氦气回收率:95%-98%
5、 可检漏率:≤2.8×10-6Pa m3/S
(报警漏率设置1×10-7Pam3/S时,氦检漏,应可检出)
6、 保压检测时间:(1-600S可调)
7、 工件真空≤1000Pa
8、真空箱检漏真空≤20 Pa
9、系统自身漏率:≤10-9 Pa m3/s
10、箱门开关方式:自动
真空箱体加送料车。料车尺寸高度需甲方确认。
18、具有自动清氦功能。
19、具有自动监控各部分的运行状态功能,异常诊断报警,氦检漏,并停止设备运行的功
能。
20、工控管理系统,可完成下列参数的设置并实时打印。
21、有自动、手动两种操作模式。
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真空箱式氦检漏系统[机械系统部分]
机械系统主要由以下四个单元构成:真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。
1.1真空箱单元
真空箱单元由真空箱、真空泵组、真空测量装置、真空阀、执行装置及不锈钢管道等组成。
真空泵组:真空泵组是系统检漏需具备的必要条件,是真空获得的重要工具。本系统真空机组前级泵采用单级旋片式泵组,氦检漏仪安全操作,主抽罗茨泵采用罗茨泵,性能稳定可靠,氦检漏仪,在高真空下抽速更快,检漏系统配制采用机械泵为前级泵。
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