氦检漏设备（氦气回收设备）
充氦回收部分主要包括高、低压氦气罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀门、压力传感器和管道等组成。能在设定的时间内对工件进行抽空、充氦和氦回收等处理。
系统具有氦气压力监测及氦气自动补充功能，充气检漏，当系统检测到氦气的浓度或压力低于设定值时，检漏，则自动打开阀门补充高纯氦气。微漏检测合格后，自动进入。
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真空箱式氦检漏系统【电气控制系统】
真空箱式氦检漏系统由机械系统和电气控制系统两大部分构成，其中电控系统包括操作机构、控制机构、驱动机构、执行机构、采集机构、及电源六大部分。
2.6、电源
电控系统中的电源部分用来为各机构分配电能，有动力电源AC380V、控制电源AC220V、PLC电源DC24、I/O电源DC24V，预计系统总功率22千瓦左右。
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