真空箱式氦检漏系统【机械系统部分】
机械系统主要由以下四个单元构成：真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。
1.2 充氦气回收单元
充氦气回收部分主要包括储气(高压)罐、回收(低压)罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀、压力传感器、真空计和管道等组成。能在设定的时间内对工件进行抽空、充氦气和氦气回收等处理。
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由于“控制机构”的输出为弱电(DC24V)信号带载能力比较弱，真空氦检漏，而“执行机构”为强电(多为AC200V、AC380V)。故不能直接带动“执行机构”。驱动机构的作用是把“控制机构”的输出信号放大转换，氦检漏设备，使其能带动“执行机构”。主要由电力调节系统等组成。
执行机构
完成某种功能的最终器件。主要有用于抽真空的各个真空泵、控制各个管路的阀门。
检测机构
检测机构由真空计、检漏仪、压力传感器、氦浓度仪组成。真空计用于测量工件压力、真空箱压力；检漏仪用于测量工件漏率；压力传感器用于测量高压罐压力、低压罐压力、氦气源压力；氦浓度仪用于测量高压罐内氦气的浓度。
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