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真空箱式氦检漏系统【系统工作原理及流程

系统工作原理及流程:

系统工作原理、检漏、氦气回收、系统工作流程图

(检漏)

检漏时先将工件吊装至箱门托架中,到位后放好,将工件与系统连接,箱门自动/手动关闭,按下启动按钮,氦检漏,系统自动完成抽真空、微漏检测、回收、清氦等工作。

箱门关好后,系统对真空箱抽真空,充氦检微漏。如果工件不合格系统将报警,无论工件合格与否系统都给出指示。对于不合格产品,氦检漏系统,系统发出报警信号,然后对真空箱充入大气,工件内氦气回收,然后中止检测程序,将工件从真空箱内移出。

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抽真空检大漏

检漏时先将工件放在工件转运平台上,人工将工件推入真空箱,然后将工件与系统连接,按下双启动按钮,箱门自动关闭,剩下的工作系统自动完成。

箱门关好后,系统打开V3 和V4,关闭V1,V5,V6, V7,对真空箱和工件抽真空,并同时监测工件内真空值和真空箱的真空值,并保证工件内压力比真空箱压力不超过0.04Mpa。当真空箱内压力为20Pa,工件内压力抽到1000Pa时保压150S,测量开关柜和真空箱内真空值的变化,如果真空箱内真空度变化不超过设定值(如100 Pa)说明工件无大漏,氦检漏装置,否则说明工件有大漏,系统自动给出声光报警,人工按下确认按钮,环网柜检漏,系统结束检测,如果工件无大漏,继续抽真空检中、微漏


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