真空箱式氦检漏设备【备品备件清单】
真空箱式氦检漏设备——备品备件清单
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【真空箱氦检漏设备】技术参数
1、 真空箱尺寸：长2500mm×1500mm×1000 mm（有效长度）
充氦气压力：0.05Mpa（可调）
2、 工作节拍：＜40分钟/件
3、 箱内接口数量：大件1个工件接口。小件2个工作接口。
4、 氦气回收率：95%-98%
5、 可检漏率：≤2.8×10-6Pa m3/S
(报警漏率设置1×10-7Pam3/S时，应可检出)
6、 保压检测时间：（1-600S可调）
7、 工件真空≤1000Pa
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