真空箱式氦检漏系统[机械系统部分]
机械系统主要由以下四个单元构成：真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。
1.1真空箱单元
真空箱单元由真空箱、真空泵组、真空测量装置、真空阀、执行装置及不锈钢管道等组成。
真空泵组：真空泵组是系统检漏需具备的必要条件，氦检漏设备，是真空获得的重要工具。本系统真空机组前级泵采用单级旋片式泵组，主抽罗茨泵采用罗茨泵，性能稳定可靠，在高真空下抽速更快，检漏系统配制采用机械泵为前级泵。
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真空箱式氦检漏系统【系统工作原理及流程】
系统工作原理及流程:
系统工作原理、检漏、氦气回收、系统工作流程图
（检漏）
检漏时先将工件吊装至箱门托架中，元器件检漏，到位后放好，真空箱式检漏，将工件与系统连接，箱门自动/手动关闭，按下启动按钮，检漏，系统自动完成抽真空、微漏检测、回收、清氦等工作。
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