真空箱式氦检漏系统【系统工作原理及流程】
系统工作原理及流程:
系统工作原理、检漏、氦气回收、系统工作流程图
（氦气回收）
微漏检测合格后，自动进入回收程序。充氦回收系统工作流程见图七。充氦过程为：对被检工件抽空后，开V1，对工件充氦气到规定压力后关V1。检完漏后，V2开，氦检漏，工件内氦气自动流入回收罐。然后V2关，V3开，方程氦检漏，机械泵抽出工件内剩余氦气并送入回收罐。同时主压缩机将回收罐内的氦气压缩至储气罐。因为不可能完全回收（回收率高于95%），所以当储气罐内压力或浓度低于规定值时，需开V6，补充氦气，以保持储气罐内的氦气有足够的压力和浓度。
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真空箱式氦检漏系统【主要技术参数及要求】
1、 真空箱尺寸：长00mm×00mm×00mm（工件尺寸：）
最大充氦气压力：0.05Mpa（可调）
2、 工作节拍：＜35分钟/件（工件抽空口不小于φ16mm时）
3、 箱内接口数量：大件1个工件接口。小件2个工作接口。1单元可同时检4个。
4、 氦气回收率：95%-98%
5、 可检漏率：≤2.8×10-6Pa m3/S(可调）
(报警漏率设置1×10-7Pam3/S时，应可检出)
6、 压强检测时间：（可调）
7、 工件真空≤1000Pa（可调）
10、真空箱检漏真空≤10 Pa（可调）
11、系统自身漏率：≤10-13 Pa m3/s
12、箱门开关方式：自动
真空箱体加送料车。料车尺寸高度需甲方确认。
13、真空箱及送料车承重＞1000Kg
14、设备校准：自动/内置漏孔校准
15、真空箱检测时系统可自动扣除氦本底，使显示漏率可以表示工件实际的整体漏率。
16、真空箱检测时判大漏的同时，完成工件强度测试，（真空保压法测试）。
17、充气回收压力、真空度必须准确、安全、可靠。
18、必须考虑充回系统中的过滤装置应方便清洗、更换。
19、对氦气浓度、压力进行监控，手动补充氦气 。
24、设备具备云服务远程控制、监测、便于故障时及时处理。保障设备运行正常。
25、设备具有实时打印被检工件编号、日期、漏率、合格与不合格。
本设备适用对空腔电力工件进行氦质谱检漏、SF6及氮气充注，首先对工件进行真空内外压强抽空，真空箱式氦检漏系统，真空法判大漏。大漏合格后，真空氦检漏，对工件和真空箱抽真空，被检工件充注氦气，应用真空箱法进行氦质谱气密性微检漏检测；然后将被检工件内的氦气回收循环使用、充注SF6及氮气工作气体。通过本装置判断出被检工件中的合格与不合格产品。
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