真空箱式氦检漏系统【机械系统部分】
机械系统主要由以下四个单元构成：真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。
1.2 充氦气回收单元
充氦气回收部分主要包括储气(高压)罐、回收(低压)罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀、压力传感器、真空计和管道等组成。能在设定的时间内对工件进行抽空、充氦气和氦气回收等处理。
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真空箱式氦检漏系统【验收标准】
（验收标准）
1、供方保证所提供的产品完全符合与需方签署的技术协议要求。
2、验收标准：双方签署的技术协议及产品质量保证书。
3、验收程序：设备运往用户工厂后根据技术协议逐条验收，检漏箱体，并进行操作、维修等技术培训，验收合格后双方签字生效。
4、需方收到设备后应及时对设备进行验收，如延期因保管出现的产品质量问题由需方负责。
5、需方提供测试工件供系统调试用。
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