真空箱式氦检漏系统【系统工作原理及流程】
系统工作原理及流程:
系统工作原理、检漏、氦气回收、系统工作流程图
（系统工作流程）
真空箱式氦检漏系统工作流程：首先将待检工件放入检漏系统的真空箱，然后关上箱门，接下来进行抽真空程序，氦检漏系统，抽到要求标准后，氦检漏装置，对工件进行检测，检测出合格和非合格的产品后，分情况进行处理，最后进行氦气的回收，开箱门取工件。
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真空箱式氦检漏系统工作流程图如下图所示：
真空箱式氦检漏系统【系统工作原理及流程】
系统工作原理及流程:
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（氦气回收）
微漏检测合格后，自动进入回收程序。充氦回收系统工作流程见图七。充氦过程为：对被检工件抽空后，开V1，对工件充氦气到规定压力后关V1。检完漏后，V2开，工件内氦气自动流入回收罐。然后V2关，V3开，机械泵抽出工件内剩余氦气并送入回收罐。同时主压缩机将回收罐内的氦气压缩至储气罐。因为不可能完全回收（回收率高于95%），氦检漏，所以当储气罐内压力或浓度低于规定值时，环网柜，需开V6，补充氦气，以保持储气罐内的氦气有足够的压力和浓度。
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