真空箱式氦检漏系统【安装调试】
（安装调试）
1、供方负责设备到货后在用户指定地点的安装调试，检漏设备维修，需方负责设备相关辅助设施，水、电、气等的配套工作，为供方设备顺利安装调试提供必要的协助。
2、设备到货后，供方在7天内安装完成，并由用户进行水、电、气等的配套安装，sf6检漏设备，供方再对设备进行调试。
3、为使用户能充分地做好工厂设计、设备安装前的技术准备和条件准备，供方将在合同签定后的10个工作日内向需方提供设备外形尺寸、设备电功率、供电位置、用水（气）压力、用水（气）量、管径等。
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氦检漏设备（氦气回收设备）
充氦回收部分主要包括高、低压氦气罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀门、压力传感器和管道等组成。能在设定的时间内对工件进行抽空、充氦和氦回收等处理。
系统具有氦气压力监测及氦气自动补充功能，检漏设备，当系统检测到氦气的浓度或压力低于设定值时，氦质谱检漏设备，则自动打开阀门补充高纯氦气。微漏检测合格后，自动进入。
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