真空箱式氦检漏系统【机械系统部分】
机械系统主要由以下四个单元构成：真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。
1.2 充氦气回收单元
充氦气回收部分主的组成结构中，高、低压罐由具有专业资质的压力容器生产商制造，并配备安全阀、压力传感器，适时检测高低压罐压力，安全可靠。系统具有氦气压力监测及氦气补充功能，当系统检测到高压氦气罐内的氦气浓度或压力低于设定值时，什么是氦检漏，则自动打开阀门从低压罐补充高纯氦气。
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SF6气体回收装置
回收装置的基本工作原理是采用冷冻液化法。在回收时，氦检漏试验，利用压缩机的抽吸性和压缩性把SF6电器设备内一定压力的SF6气体吸入压缩机，并压缩至某一较高的压力。同时利用R22制冷剂的低蒸发温度特性，将较高温度的SF6气体冷却至冷凝温度进行液化、贮存。这样连续抽吸至SF6压缩机串联运行，直至达到回收终压力。
在充放时，首先利用本装置的真空泵对SF6电器设备（或钢瓶）和连接管路进行抽真空，氦检漏，然后直接利用压差或利用压缩机的抽吸性并造成一定的压差将装置贮存容器内的SF6充入SF6电器设备，直至达到所需的工作压力。在需灌瓶时则同时利用如前所述的R22制冷剂的特性，将液化的SF6直接灌入钢瓶。
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