真空箱式氦检漏系统【机械系统部分】
机械系统主要由以下四个单元构成：真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。
1.2 充氦气回收单元
充氦气回收部分主要包括储气(高压)罐、回收(低压)罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀、压力传感器、真空计和管道等组成。
压缩机采用知名品牌，质量安全可靠。
氦浓度仪采用知名品牌，能根据需要检测高压罐内氦气浓度。真空计，真空阀门等关键部件均采用高端配置，详见配置清单。
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真空箱式氦检漏系统【电气控制系统】
真空箱式氦检漏系统由机械系统和电气控制系统两大部分构成，其中电控系统如下图一所示，氦检漏设备，包括操作机构、控制机构、驱动机构、执行机构、采集机构、及电源六大部分。
2.1操作机构
操作机构主要由操作面板和工控机组成，检漏，用于人员的操作和修改参数。具体包括系统电源开关、系统运行状态监视、故障报警与故障分析等。系统监控画面如下图二所示，真空检漏，参数修改画面如下图三所示。
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图一 电控系统图
图二
图三
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