真空箱式氦检漏系统【电气控制系统】
真空箱式氦检漏系统由机械系统和电气控制系统两大部分构成，其中电控系统包括操作机构、控制机构、驱动机构、执行机构、采集机构、及电源六大部分。
2.2、控制机构
控制机构主要采用电脑触摸屏的集散式半导体模块控制系统，分散与集中控制相结合，层次分明、成本低廉、维护方便。控制系统同时具有自我诊断与报警功能，环网柜，显示各种故障信息。控制系统同时具有自我校准、连锁保护和报警功能，检漏，确保系统本身运行安全可靠和被检工件的安全。
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真空箱式氦检漏系统【电气控制系统】
真空箱式氦检漏系统由机械系统和电气控制系统两大部分构成，真空检漏系统，其中电控系统如下图一所示，包括操作机构、控制机构、驱动机构、执行机构、采集机构、及电源六大部分。
2.1操作机构
操作机构主要由操作面板和工控机组成，用于人员的操作和修改参数。具体包括系统电源开关、系统运行状态监视、故障报警与故障分析等。系统监控画面如下图二所示，参数修改画面如下图三所示。
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图一 电控系统图
图二
图三
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