真空箱式氦检漏系统【机械系统部分】
机械系统主要由以下四个单元构成：真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。
1.2 充氦气回收单元
充氦气回收部分主要包括储气(高压)罐、回收(低压)罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀、压力传感器、真空计和管道等组成。能在设定的时间内对工件进行抽空、充氦气和氦气回收等处理。
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真空箱式氦检漏系统【电气控制系统】
真空箱式氦检漏系统由机械系统和电气控制系统两大部分构成，真空氦检漏系统，其中电控系统包括操作机构、控制机构、驱动机构、执行机构、采集机构、及电源六大部分。
2.2、控制机构
控制机构主要采用电脑触摸屏的集散式半导体模块控制系统，检漏仪，分散与集中控制相结合，充气柜，层次分明、成本低廉、维护方便。控制系统同时具有自我诊断与报警功能，显示各种故障信息。控制系统同时具有自我校准、连锁保护和报警功能，确保系统本身运行安全可靠和被检工件的安全。
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