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真空箱式氦检漏系统【电气控制系统】

真空箱式氦检漏系统由机械系统和电气控制系统两大部分构成，其中电控系统包括操作机构、控制机构、驱动机构、执行机构、采集机构、及电源六大部分。

2.2、控制机构

控制机构主要采用电脑触摸屏的集散式半导体模块控制系统，分散与集中控制相结合，层次分明、成本低廉、维护方便。上位机采用工控机，用于向PID发布指令、系统运行状态集中管理。PID主要实现对整个系统现场及部件进行连锁控制。系统根据“操作机构”和“检测机构”的信号来控制设备的运行，完成检漏工作。

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真空箱式氦检漏系统【主要技术参数及要求】

1、 真空箱尺寸：长00mm×00mm×00mm（工件尺寸：）

最大充氦气压力：0.05Mpa（可调）

2、 工作节拍：＜35分钟/件（工件抽空口不小于φ16mm时）

3、 箱内接口数量：大件1个工件接口。小件2个工作接口。1单元可同时检4个。

4、 氦气回收率：95%-98%

5、 可检漏率：≤2.8×10-6Pa m3/S(可调）

(报警漏率设置1×10-7Pam3/S时，应可检出)

6、 压强检测时间：（可调）

7、 工件真空≤1000Pa（可调）

10、真空箱检漏真空≤10 Pa（可调）

11、系统自身漏率：≤10-13 Pa m3/s

12、箱门开关方式：自动

真空箱体加送料车。料车尺寸高度需甲方确认。

13、真空箱及送料车承重＞1000Kg

14、设备校准：自动/内置漏孔校准

15、真空箱检测时系统可自动扣除氦本底，使显示漏率可以表示工件实际的整体漏率。

16、真空箱检测时判大漏的同时，完成工件强度测试，（真空保压法测试）。

17、充气回收压力、真空度必须准确、安全、可靠。

18、必须考虑充回系统中的过滤装置应方便清洗、更换。

19、对氦气浓度、压力进行监控，手动补充氦气 。

24、设备具备云服务远程控制、监测、便于故障时及时处理。保障设备运行正常。

25、设备具有实时打印被检工件编号、日期、漏率、合格与不合格。

本设备适用对空腔电力工件进行氦质谱检漏、SF6及氮气充注，首先对工件进行真空内外压强抽空，检漏，真空法判大漏。大漏合格后，环网柜，对工件和真空箱抽真空，真空氦检漏系统，被检工件充注氦气，应用真空箱法进行氦质谱气密性微检漏检测；然后将被检工件内的氦气回收循环使用、充注SF6及氮气工作气体。通过本装置判断出被检工件中的合格与不合格产品。

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