真空箱式氦检漏系统【系统工作原理】
真空箱检漏工艺流程如下：①工件密封盖板安装（需方人员自行完成）→②吊运至设备小车（同上）→③工件与设备连接（同上）→④按下控制按钮（同上）→⑤设备关门自动运行（真空箱、工件抽空）→b.工件真空压强法判大漏→c.抽空工件充氦气检微漏→d.回收工件内氦气→e.真空箱、工件充气）→⑥检漏完成真空箱开门→⑦吊走工件拆卸盖板
注：①-④-⑦由需方人员自行完成。
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系统工作气路示意图如下图所示：
充气柜箱式氦检漏设备实现远程云服务控制系统
由于“控制机构”的输出为弱电(DC24V)信号带载能力比较弱，检漏，而“执行机构”为强电(多为AC200V、AC380V)。故不能直接带动“执行机构”。驱动机构的作用是把“控制机构”的输出信号放大转换，使其能带动“执行机构”。主要由电力调节系统等组成。
执行机构
完成某种功能的最终器件。主要有用于抽真空的各个真空泵、控制各个管路的阀门。
检测机构
检测机构由真空计、检漏仪、压力传感器、氦浓度仪组成。真空计用于测量工件压力、真空箱压力；检漏仪用于测量工件漏率；压力传感器用于测量高压罐压力、低压罐压力、氦气源压力；氦浓度仪用于测量高压罐内氦气的浓度。
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