氦检漏设备（氦气回收设备）
充氦回收部分主要包括高、低压氦气罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀门、压力传感器和管道等组成。能在设定的时间内对工件进行抽空、充氦和氦回收等处理。
系统具有氦气压力监测及氦气自动补充功能，当系统检测到氦气的浓度或压力低于设定值时，则自动打开阀门补充高纯氦气。微漏检测合格后，自动进入。
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真空箱式氦检漏系统【系统工作原理及流程】
系统工作原理及流程:
系统工作原理、检漏、氦气回收、系统工作流程图
（检漏）
检漏时先将工件吊装至箱门托架中，到位后放好，氦检漏流程，将工件与系统连接，检漏，箱门自动/手动关闭，检漏系统，按下启动按钮，系统自动完成抽真空、微漏检测、回收、清氦等工作。
箱门关好后，系统对真空箱抽真空，充氦检微漏。如果工件不合格系统将报警，无论工件合格与否系统都给出指示。对于不合格产品，系统发出报警信号，然后对真空箱充入大气，氦检漏，工件内氦气回收，然后中止检测程序，将工件从真空箱内移出。
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