真空箱式氦检漏系统【机械系统部分】
机械系统主要由以下四个单元构成：真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。
1.3 检漏单元
真空箱式氦检漏系统机械系统部分的氦检漏单元，检漏方法，氦质谱检漏仪采用进口产品，真空箱式检漏系统，自动校准漏孔。技术成熟，性能稳定，安装维护方便，检漏，使其和真空箱连接更加协调紧密。
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真空箱式氦检漏设备
性能特点1、安全
★ 电气系统具有自我检测、连锁保护和报警功能，确保系统本身运行安全可靠和被检工件的安全。
★ 真空箱门设安全光电保护装置，确保操作者安全
★ 氦气示踪安全环保。
2、高灵敏度
★ 检漏精度高。
★ 抑零功能，消除氦本底影响。
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