真空箱式氦检漏系统【系统工作原理】
真空箱检漏工艺流程如下：①工件密封盖板安装（需方人员自行完成）→②吊运至设备小车（同上）→③工件与设备连接（同上）→④按下控制按钮（同上）→⑤设备关门自动运行（真空箱、工件抽空）→b.工件真空压强法判大漏→c.抽空工件充氦气检微漏→d.回收工件内氦气→e.真空箱、工件充气）→⑥检漏完成真空箱开门→⑦吊走工件拆卸盖板
注：①-④-⑦由需方人员自行完成。
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系统工作气路示意图如下图所示：
【氦质谱检漏仪】在真空箱式氦检漏系统中的应用
漏率值的换算
高压开关柜在工作时控制泄漏的是SF6气体，因此需将原来要求的泄漏率指标换算成氦气漏率。以SF6 气体0.2%的年泄漏率，在实际检漏中，设定的漏率报警值通过以下步骤得出：
1. 将每年0.2％体积泄漏量的SF6的泄漏量转换成气体泄漏量：
以工件内容积300L，方形检漏，充SF6的压力为0.15Mpa(绝压) 计算，检漏，每年体积泄漏量0.2％对应的漏率值为：
300×10-3× 0.15×106 ×0.2％ /3600×24×365
＝2.8×10-6Pa.m3/S
2. 对于粘滞流，不同气体的漏率与气体的粘度系数成反比。所以，2.8×10-6Pa.m3/S的SF6对应的氦漏率
Q = QSF6 (ηSF6 /ηHe)
=2.8×10-6×（1.56×10-5/1.86×10-5）
=2.4×10-6Pa.m3/S
式中， Q－氦漏率（Pa.m3/S）
QSF6－试件工作时的SF6漏率（Pa.m3/S）
ηhe－氦气的粘度系数（1.86×10-5Pa. S）
ηSF6－SF6的粘度系数（1.56×10-5Pa.S）
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