【氦质谱检漏仪】在真空箱式氦检漏系统中的应用
漏率值的换算
高压开关柜在工作时控制泄漏的是SF6气体，充气柜检漏，因此需将原来要求的泄漏率指标换算成氦气漏率。以SF6 气体0.2%的年泄漏率，在实际检漏中，设定的漏率报警值通过以下步骤得出：
1. 将每年0.2％体积泄漏量的SF6的泄漏量转换成气体泄漏量：
以工件内容积300L，充SF6的压力为0.15Mpa(绝压) 计算，检漏，每年体积泄漏量0.2％对应的漏率值为：
300×10-3× 0.15×106 ×0.2％ /3600×24×365
＝2.8×10-6Pa.m3/S
2. 对于粘滞流，sf6检漏仪，不同气体的漏率与气体的粘度系数成反比。所以，2.8×10-6Pa.m3/S的SF6对应的氦漏率
Q = QSF6 (ηSF6 /ηHe)
=2.8×10-6×（1.56×10-5/1.86×10-5）
=2.4×10-6Pa.m3/S
式中， Q－氦漏率（Pa.m3/S）
QSF6－试件工作时的SF6漏率（Pa.m3/S）
ηhe－氦气的粘度系数（1.86×10-5Pa. S）
ηSF6－SF6的粘度系数（1.56×10-5Pa.S）
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真空箱式氦检漏系统【工作环境】
工作环境:
1、长×宽×高（设备占地面积约）：依据实物实际面积为准。
2、电源：380 V±38 V，检漏方法，50 Hz±0.5 Hz，约22KW；
3、压缩气源及减压器：0.6～0.8Mpa氮气或干燥清洁压缩空气；
4、待检工件要求清洁、干燥。
5、环境温度： 5 ℃ ～ 35 ℃；
6、相对湿度： ≤80%；
7、氦气源及减压器：氦气纯度为 99％。
8、设备应安装在通风良好的厂房内。
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