真空箱式氦检漏系统【机械系统部分】
机械系统主要由以下四个单元构成：真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。
1.2 充氦气回收单元
充氦气回收部分主要包括储气(高压)罐、回收(低压)罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀、压力传感器、真空计和管道等组成。
压缩机采用知名品牌，质量安全可靠。
氦浓度仪采用知名品牌，能根据需要检测高压罐内氦气浓度。真空计，真空阀门等关键部件均采用高端配置，检漏仪，详见配置清单。
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真空箱式氦检漏系统【系统工作原理及流程】
系统工作原理及流程:
系统工作原理、检漏、氦气回收、系统工作流程图
（系统工作流程）
真空箱式氦检漏系统工作流程：首先将待检工件放入检漏系统的真空箱，检漏，然后关上箱门，接下来进行抽真空程序，抽到要求标准后，环网柜检漏，对工件进行检测，检测出合格和非合格的产品后，sf6检漏仪，分情况进行处理，最后进行氦气的回收，开箱门取工件。
北京科仪创新~专业氦检漏设备制造商！
真空箱式氦检漏系统工作流程图如下图所示：
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