真空箱式氦检漏设备 充气柜氦检漏设备 环网柜检漏设备
本设备适用对充气环网柜（以下简称工件）进行真空法检漏。同步对工件和真空箱抽真空，使工件内外压差不大于0.04Mpa，对被检工件充注氦气，应用真空箱法进行氦质谱气密性检测，真空氦检漏，通过该装置判断出被检工件中的合格与不合格。然后将被检工件内的氦气回收循环使用，最后向工件内充入规定压力的SF6工作气体。
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氦检漏设备（氦气回收设备）
充氦回收部分主要包括高、低压氦气罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀门、压力传感器和管道等组成。能在设定的时间内对工件进行抽空、充氦和氦回收等处理。
系统具有氦气压力监测及氦气自动补充功能，氦检漏，当系统检测到氦气的浓度或压力低于设定值时，则自动打开阀门补充高纯氦气。微漏检测合格后，自动进入。
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