氦检漏设备（氦气回收设备）
充氦回收部分主要包括高、低压氦气罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀门、压力传感器和管道等组成。能在设定的时间内对工件进行抽空、充氦和氦回收等处理。
系统具有氦气压力监测及氦气自动补充功能，氦检漏系统，当系统检测到氦气的浓度或压力低于设定值时，则自动打开阀门补充高纯氦气。微漏检测合格后，自动进入。
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真空箱式氦检漏设备 充气柜氦检漏设备 环网柜检漏设备
主要技术参数及要求
1、 真空箱尺寸：长00mm×宽00mm×高00 mm
充氦气压力：0.05Mpa（可调）
2、 工作节拍：＜40分钟/件
3、 箱内接口数量：大件1个工件接口。小件2个工作接口。
4、 氦气回收率：95%-98%
5、 可检漏率：≤2.8×10-6Pa m3/S
(报警漏率设置1×10-7Pam3/S时，应可检出)
6、 保压检测时间：（1-600S可调）
7、 工件真空≤1000Pa
8、真空箱检漏真空≤20 Pa
9、系统自身漏率：≤10-9 Pa m3/s
10、箱门开关方式：自动
真空箱体加送料车。料车尺寸高度需甲方确认。
18、具有自动清氦功能。
19、具有自动监控各部分的运行状态功能，氦检漏，异常诊断报警，真空氦检漏，并停止设备运行的功
能。
20、工控管理系统，可完成下列参数的设置并实时打印。
21、有自动、手动两种操作模式。
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