SF6气体回收装置
回收装置的基本工作原理是采用冷冻液化法。在回收时，利用压缩机的抽吸性和压缩性把SF6电器设备内一定压力的SF6气体吸入压缩机，并压缩至某一较高的压力。同时利用R22制冷剂的低蒸发温度特性，氦检漏仪安全操作，将较高温度的SF6气体冷却至冷凝温度进行液化、贮存。这样连续抽吸至SF6压缩机串联运行，氦检漏仪，直至达到回收终压力。
在充放时，首先利用本装置的真空泵对SF6电器设备（或钢瓶）和连接管路进行抽真空，然后直接利用压差或利用压缩机的抽吸性并造成一定的压差将装置贮存容器内的SF6充入SF6电器设备，直至达到所需的工作压力。在需灌瓶时则同时利用如前所述的R22制冷剂的特性，将液化的SF6直接灌入钢瓶。
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【真空箱氦检漏设备】技术参数
10、真空箱检漏真空≤20 Pa
11、系统自身漏率：≤10-9 Pa m3/s
12、箱门开关方式：自动
真空箱体加送料车。料车尺寸高度需甲方确认。
13、真空箱及送料车承重＞1000Kg
14、设备校准：可自动操作外置漏孔校准
15、真空箱检测时系统可自动扣除氦本底，氦检漏，使显示漏率可以表示工件实际的整体漏率。
16、真空箱检测时充氮判大漏的同时，完成工件强度测试，（保压2分钟）。
17、充气回收压力、真空度必须准确、安全、可靠。
18、必须考虑充回系统中的过滤装置应方便清洗、更换。
19、对氦气浓度、压力进行监控，真空箱氦检漏系统，自动补充氦气。
20、具有自动清氦功能。
21、具有自动监控各部分的运行状态功能，异常诊断报警，并停止设备运行的功能。
22、工控管理系统，可完成下列参数的设置并实时打印。
23、有自动、手动两种操作模式。
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