真空箱式氦检漏系统【电气控制系统】
真空箱式氦检漏系统由机械系统和电气控制系统两大部分构成，其中电控系统包括操作机构、控制机构、驱动机构、执行机构、采集机构、及电源六大部分。
2.4、执行机构
电气控制系统中的执行机构是完成某种功能的最终器件，主要有用于抽真空的各个真空泵、控制各个管路的阀门。科仪创新 - 以技术为保障，检漏设备，公司汇聚了国内真空行业的资深专家、专业技术人员和专业的管理团队，充气柜，他们熟悉真空、机械、高温、低温、镀膜、材料、检漏和自动化控制等专业，也深知现代化高新技术企业的内涵，为客户提供完善的技术保障。专业定制真空标准件KF/CF/ISO/全系列各种标准规格及非标系列。
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真空箱式氦检漏系统【系统工作原理】
真空箱检漏工艺流程如下：①工件密封盖板安装（需方人员自行完成）→②吊运至设备小车（同上）→③工件与设备连接（同上）→④按下控制按钮（同上）→⑤设备关门自动运行（真空箱、工件抽空）→b.工件真空压强法判大漏→c.抽空工件充氦气检微漏→d.回收工件内氦气→e.真空箱、工件充气）→⑥检漏完成真空箱开门→⑦吊走工件拆卸盖板
注：①-④-⑦由需方人员自行完成。
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系统工作气路示意图如下图所示：
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