真空箱式氦检漏系统【系统工作原理及流程】
系统工作原理及流程:
系统工作原理、检漏、氦气回收、系统工作流程图
（氦气回收）
微漏检测合格后，自动进入回收程序。充氦回收系统工作流程见图七。充氦过程为：对被检工件抽空后，检漏，开V1，对工件充氦气到规定压力后关V1。检完漏后，环网柜，V2开，工件内氦气自动流入回收罐。然后V2关，V3开，机械泵抽出工件内剩余氦气并送入回收罐。同时主压缩机将回收罐内的氦气压缩至储气罐。因为不可能完全回收（回收率高于95%），所以当储气罐内压力或浓度低于规定值时，需开V6，检漏仪，补充氦气，以保持储气罐内的氦气有足够的压力和浓度。
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【真空箱氦检漏设备】技术参数
1、 真空箱尺寸：长2500mm×1500mm×1000 mm（有效长度）
充氦气压力：0.05Mpa（可调）
2、 工作节拍：＜40分钟/件
3、 箱内接口数量：大件1个工件接口。小件2个工作接口。
4、 氦气回收率：95%-98%
5、 可检漏率：≤2.8×10-6Pa m3/S
(报警漏率设置1×10-7Pam3/S时，应可检出)
6、 保压检测时间：（1-600S可调）
7、 工件真空≤1000Pa
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