【真空箱氦检漏设备】技术参数
10、真空箱检漏真空≤20 Pa
11、系统自身漏率：≤10-9 Pa m3/s
12、箱门开关方式：自动
真空箱体加送料车。料车尺寸高度需甲方确认。
13、真空箱及送料车承重＞1000Kg
14、设备校准：可自动操作外置漏孔校准
15、真空箱检测时系统可自动扣除氦本底，氦质谱检漏仪，使显示漏率可以表示工件实际的整体漏率。
16、真空箱检测时充氮判大漏的同时，完成工件强度测试，检漏，（保压2分钟）。
17、充气回收压力、真空度必须准确、安全、可靠。
18、必须考虑充回系统中的过滤装置应方便清洗、更换。
19、对氦气浓度、压力进行监控，自动补充氦气。
20、具有自动清氦功能。
21、具有自动监控各部分的运行状态功能，异常诊断报警，并停止设备运行的功能。
22、工控管理系统，可完成下列参数的设置并实时打印。
23、有自动、手动两种操作模式。
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真空箱式氦检漏系统【系统工作原理】
真空箱检漏工艺流程如下：①工件密封盖板安装（需方人员自行完成）→②吊运至设备小车（同上）→③工件与设备连接（同上）→④按下控制按钮（同上）→⑤设备关门自动运行（真空箱、工件抽空）→b.工件真空压强法判大漏→c.抽空工件充氦气检微漏→d.回收工件内氦气→e.真空箱、工件充气）→⑥检漏完成真空箱开门→⑦吊走工件拆卸盖板
注：①-④-⑦由需方人员自行完成。
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系统工作气路示意图如下图所示：
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